簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "張復瑜".ccommittee (精準) and cadvisor.raw="陳炤彰"


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    單晶與多晶矽基板鑽石線鋸加工之切屑分析研究
    • 機械工程系 /102/ 碩士
    • 研究生： 詹明賢   指導教授： 陳炤彰
    • 目前太陽能電池製程前端所使用之結晶矽基板，主要以複線式線鋸加工技術(Multi Wire Sawing)進行矽晶錠切片(Slicing)，其中游離磨料線鋸受到切割高硬脆材料效率不佳、漿料會對環境汙染…
    • 點閱：499  下載：30 

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    多孔質陽極氧化鋁模板製作似蟬翼抗反射結構
    • 機械工程系 /97/ 碩士
    • 研究生： 詹景翔   指導教授： 陳炤彰
    • 本研究主要以多孔質陽極氧化鋁(Porous Anodic Alumina, PAA)為模板製作仿蟬翼結構之研究，先以實驗設計方法找出氧化鋁製程參數，接著製作出仿蟬翼結構之負形孔洞氧化鋁模板，最後結合…
    • 點閱：1775  下載：10 

    3
    化學機械平坦化之行星式及搖臂式動態模型對拋光墊修整分析與影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生： 宋政潮   指導教授： 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中，化學拋光液和晶圓移除的殘屑可能會積 聚在拋光墊表面，通過修整製程去除這些殘屑。故此拋光墊修整對於 CMP 性能至關重要且影響 IC 製造良率。本研究主要針對比較行星式修 整和…
    • 點閱：127  下載：3 
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